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ceramic
DC

Ceramics Parts

セラミックス パーツ

アルミナジルコニア(Al2O3/ZrO2)材料製品例
半導体装置部品ステッパーチャック、真空チャック、ウェーハチャック、フォーカスリング、ウェーハクランプ、ガイドリング、ロボットアーム、ウェーハソフターアーム、インデックステーブル、セラミックネジ、ワイドポケット、ベースプレート等

ジルコニア(ZrO2)材料製品例

切削工具、金型、ガイドロール、ブッシュ、スリーブ、ガイド、ボール、チューブ。 各種ガイドローラー、ミリングメディア等

炭化ケイ素(SiC)材料製品例

メカニカルシール部品、ノズル、耐摩耗・耐食用機械部品、ブッシング、高温治具、半導体工具など

窒化ケイ素(Si3N4)材料製品例

各種サーマルチャック、ベアリング、ボール、ダイス、ガイドロール、各種機械部品、耐摩耗性、エンジン部品など